详细信息
二维材料单晶级真空转移系统mini
型号：Transfer 50 mini
•手动上下片，半自动工艺
•1500 mm*1000 mm*1600 mm
•全品类二维材料，比如MoS2，graphene
•晶圆尺寸：≤ 4英寸
•干泵
•极限真空度优于 1×10−3 Torr
•工作真空度 7.5~ 1x10-3 Torr
•加热温度RT400℃（控温精度±1 ℃）
•接触压力：0~100N可调
•工艺气/载气：单路N₂ / Ar
•操作系统：Extremo T2.0
应用展示
转移材料
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