| 特点 |
| 自主可控的纯国产化核心部件 |
| 国产化耗材，较低的运行成本 |
| 分体式气流通道，简化设备维护 |
| 优异的外延片均匀性，均匀性<2% |
| 优异的流场、温场均匀性和控制稳定性 |
| 自动化操作系统和可视化数据分析系统 |
| 配备先进的原位检测系统 |
| 技术参数 | |
| 腔体类型 | 垂直式反应器、托盘可控旋转系统 |
| 压力范围 | 0-600 kPa |
| 晶圆尺寸 | 37X2 inch, 7X4 inch, 3X6 inch, 1X8 inch, 1X12 inch |
| 气源配置 | 8路金属有机源管路，4路氢化物管路 |
| 加热系统 | 三温区加热，最高温度达到1300℃ |
| 设备尺寸 | 6150*1200*2300 (mm) |
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